以前的多晶硅(p-si)要求的沉积温度高,对基于玻璃的LCD制造来说是不现实的。然而,今天的LTPS技术已经克服了很多诸如此类的制造问题,并且其固有的高速度还为显示器提供了看得见的好处。基于玻璃的p-si的另外一个优势在于,其驱动器芯片也可以采用同样的工艺进行生产,从而节省了空间,提高了可靠性。随着用于低温环境的新型低成本制造方法的开发,p-si显示技术将会继续获得多元化应用,取得一定市场占有率。他们将很快发展成智能型、高附加价显示器,除了门阵列驱动器外,最终也会将存储器和CPU集成在里面。同当代a-si或p-si技术相比,这些“基于玻璃的系统(System On Glass)”类型的FPD需要的电力比较少,能产生更明亮的图像,具有更快的反应速度,能提供更高的分辨率,而且需要的外部电路更少。
LTPS显示器需要进行更多的测试,因为他们除了像素TFT外,还带有其他控制器件,而且其应用倾向于视频。这些测试包括驱动器IC测量、带有时钟信号的数码测试,和检查高频操作特性。因此,同传统的a-si产品相比,较高的测试产量显得相当重要。如果p-si有源器件外形非常小,并且在较小电流时的工作效率更高,那么相较a-si器件来说,对他们进行测试时就需要更高的敏感度。
否则,就要对p-si FPD进行类似参数测试,所有测量问题与a-si技术相同。然而,辅助信号源和仪器却使LTPS测试系统单元间的整合成为另一问题,其中包括参数测试仪接口、同步和软件的兼容性。
当用于视频领域的高速AMLCD于1990年出现的时候,Keithley就开发了一整套高速工序监控系统解决方案,帮助显示器OEM厂商提高生产量和更容易地控制产品质量。由于LTPS允许将驱动器和其他电路集成在一块玻璃上,Keithley的TEG系统增加了脉冲和射频能力,以支持专用高速功能测试。这些功能可与早期用于生产过程的TEG测试系统组合使用,因此避免了昂贵的包装环节,即达到了商业化的纠正和修理要求。
Keithley提供各种不同的测试平台,允许LTPS显示器OEM厂商对测量敏感度和生产量进行优化。当遇到超低电流测量问题时,S400自动化参数测试(APT)系统可通过其完全布线应用程序,提高测试产量。当同时要求超低电平测量和较高的测试产量的时候,为了扩展S400应用中的测量敏感度,4200-SCS通过系统矩阵,连接到四个独立的像素探针卡。采用这种布局,DUT端的电流敏感度可达到1-2fA。当然,也可以采用其他许多硬件对系统进行优化,以满足特殊应用的要求。
作者:Charles Cimino and David Rose。进一步信息,请参考美国吉时利仪器公司(Keithley Instruments, Inc.)技术白皮书《New Test Realities for Evolving FPD Technologies》,网址为http://www.keithley.com/data?asset=10558。