【产通社，3月19日讯】沈阳芯源微电子设备股份有限公司（KINGSEMI Co., Ltd.；股票代码：688037）2021年年度报告显示，其报告期内实现营业收入82,867.25万元，较2020年同期增长151.95%；归属于上市公司股东的净利润7,734.95万元，较2020年同期增长58.41%。报告期内，公司坚持以市场方向和客户需求为导向，不断对产品进行技术完善和革新，持续加大自主研发力度，实现对核心零部件和单元技术、整机产品研发等方面的实质性进展，全年研发支出9,249.96万元，同比增长103.68%。

（1）前道涂胶显影领域
报告期内，公司生产的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。公司在前道涂胶显影领域，作为国产化设备已逐步得到了应用，实现了小批量替代。公司生产的offline涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段、KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收。随着各项关键技术的突破及工艺验证的稳步推进，公司前道涂胶显影机具备快速实现国产替代的技术实力。

（2）前道物理清洗领域
公司生产的前道Spin Scrubber清洗机设备较为成熟，报告期内通过持续研发进一步提升了工艺性能和设备产能，产品竞争力不断增强，已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。2020年已在国内多个重点客户处通过验证。2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。

（3）后道先进封装领域
公司生产的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂，目前已经成为客户端的主力量产设备。公司在后道领域持续开拓新客户，报告期内积极开拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封装客户。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

（4）化合物、MEMS、LED等小尺寸领域
公司生产的小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备，可覆盖化合物、MEMS、LED等多个领域，目前作为主流机型已批量应用于三安光电、华灿光电、乾照光电、赛微电子、江西兆驰等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。公司作为国内化合物龙头三安光电的主力供应商，在市场开拓中不断延伸，报告期内进一步巩固市场优势地位。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.kingsemi.com。（Robin Zhang，张底剪报）    （完）