【产通社，10月24日讯】北方华创科技集团股份有限公司（NAURA Technology Group Co., Ltd.；股票代码：002371）官网消息，其2020年度北京市科学技术奖获奖名单近日正式发布。该年度内北京市科学技术奖共收到提名书633份，其“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”，喜获北京市科学技术进步奖一等奖！

“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”是由北京北方华创微电子装备有限公司、上海集成电路研发中心有限公司、中科院微电子研究所共同完成的集成电路技术领域的科研成果。12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机是北方华创历经多年自主创新，取得的突破性研发成果。该设备采用自主知识产权、大面积、低容性的新型高密度等离子体源系统设计，实现了刻蚀均匀性的精确控制，并通过高效稳定的晶圆传输、颗粒和金属污染控制等关键技术设计，提升了设备量产性能。目前，12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机，已通过主流芯片生产线的工艺和量产验证，并实现批量销售。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.naura.com。（张怡，产通发布）    （完）