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凯世通大束流离子注入机装备及工艺研发项目获科技进步一等奖
2020/6/4 8:25:24     

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【产通社,6月4日讯】上海凯世通半导体股份有限公司(SHANGHAI KINGSTONE SEMICONDUCTOR CORP.;NEEQ股票代码:870315)官网消息,北京市科学技术委员会公示的2019年度北京市科学技术奖项目评审结果中,万业企业全资子公司凯世通等共同承担的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目成功荣膺科技进步奖一等奖。

凯世通是目前国内唯一覆盖集成电路、光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业,其研发生产的离子注入机是半导体制造工艺中技术最为复杂的设备之一。离子注入机与光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备被并称为集成电路制造的“四大金刚”。

资料显示,万业企业于2018年成功收购离子注入机制造商凯世通,向集成电路转型迈出关键的一步。离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂,从而改变其特性的工艺制程,在集成电路(IC)工业中得到广泛的应用。作为离子注入制程的装备—离子注入机,是先进IC生产线上最关键的工具之一,每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。

北京市科学技术奖是北京市政府在科技方面的最高奖项,由北京市人民政府设立,旨在奖励做出重大科学发现、重大技术发明,完成和应用推广创新性科技成果,在推动科技进步和经济社会发展方面具有突出贡献的个人和组织。此次凯世通大束流离子注入机装备及工艺研发项目获得科学技术进步奖,标志着凯世通的技术研发实力有了进一步的提升和突破,也无疑成为万业企业转型集成电路的助推器。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.kingstonesemi.com/cn/news/221.html。(Robin Zhang, 张底剪报)    (完)
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