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南大光电积极推进高纯砷烷、磷烷等特种气体的研发与中试项目
2016/8/31 20:31:56     

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【产通社,8月31日讯】江苏南大光电材料股份有限公司(Nata Opto-electronic Material;股票代码:300346)2016年半年度报告显示,其报告期内积极推进控股子公司全椒南大光电“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项《高纯砷烷、磷烷等特种气体的研发与中试》项目的产业化进程。目前全椒南大光电已按计划形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力,各项技术指标达到了项目要求,建成的生产线和相应的生产设施通过了安徽省的专家安全生产验收和认证,并已于今年5月取得了安全生产许可证,6月开始启动生产经营,部分客户认证工作已完成。

半导体前驱体材料已研发成功高纯四(二甲氨基)钛产品,并在推进产业化和市场应用进程,我们继续引进这方面的高端人才,正在进行5种左右的相关产品的研发和产业化。

报告期内研发投入1,243.66万元,较去年同期增长22.32%。截止报告期末,公司及子公司共拥有专利21项,其中:发明专利9项,实用新型专利12项。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.natachem.com。    (完)
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