【产通社，6月11日讯】弗劳恩霍夫光子微系统研究所（Fraunhofer IPMS）的科学家们开发了用于空间光调制器的高性能评估套件，该套件以倾斜或活塞镜作为执行器类型。开发的空间光调制器的微镜元件在逐像素的基础上操纵光，并在支持光刻、医疗技术、天文学和量子计算应用的高精度光图案的生成中发挥着关键作用。

科学家们的空间光调制器由单个半导体芯片上的数百万个单独的模拟可控反射镜组成。这些高通用性组件形成用于各种应用的光学关键元件。根据应用，微镜可以沿一个或两个轴倾斜或水平降低。这使他们能够控制和操纵光的方向、强度或相位，从而创建精确的光图案。
 
为了促进这种高度集成、快速和精确的技术转移到新的应用中，弗劳恩霍夫IPMS已经开始提供带有64000（256×256）个镜子的评估套件。这些系统通常基于单轴倾斜镜，现已扩展到包括活塞镜作为一种新型执行器。该研究所表示，成功将技术实施到评估套件的第一个版本中，使客户能够在单个中央平台上测试大部分微镜阵列组合。

弗劳恩霍夫IPMS的Michael Wagner说：“通常，不同的镜像技术也需要相应的测试系统，因为单个镜像阵列基于单个CMOS背板。”。“我们的套件允许用户和开发人员在中央平台上测试空间光调制器。”

根据镜子类型和系统设置，评估套件可用于从紫外光谱到可见光谱再到近红外光谱的范围。研究人员目前正在努力将评估套件的应用范围扩展到深紫外范围，因为弗劳恩霍夫IPMS的其他空间光调制器平台已经在这个范围内使用。在紫外范围内，可以分辨出较小的细节，从而实现详细和高精度的成像。评估套件的先进控制电子设备进一步支持高达千赫兹范围的极高调制频率。

研究员Mario Nitzsche说：“通常，微镜阵列的调制频率受到控制设置的限制，而不是芯片本身的特性。强大的设置可以利用微镜的全部功能。”

评估套件通过微镜的纳米级精确校准实现了高性能，确保了精确和高分辨率的模拟（准连续）下降或倾斜运动。完整的评估套件包括控制电子设备、64k微镜芯片（256 x 256像素）和相应的软件。提供集成和优化操作支持。

剪报来源：
https://www.photonics.com/Articles/Fraunhofer_IPMS_Debuts_Spatial_Light_Modulator/p5/a71092