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1z DRAM节点制程后的最先进DRAM工艺:美光1α技术
2021/2/5 16:05:43    
2021年1月,美光科技(Micron Technology)开始在位于台湾地区的工厂批量生产基于1α(1-alpha)节点的DRAM产品。首先出货的是面向运算市场的DDR4内存,以及英睿达(Crucial)消费级PC DRAM产品,并同时向移动客户提供LPDDR4样片进行验证。那么,到底什么是1α节点技术?

根据美光资料,1α节点制程是目前世界上最先进的DRAM技术,在密度、功耗和性能等各方面均有重大突破。

1α节点是继最近首推全球最快显存和176层NAND产品后,美光实现的又一突破性里程碑。对比上一代的1z DRAM制程,美光1α技术将内存密度提升了40%,为将来的产品和内存创新提供了坚实的基础。

通过1α技术节点,内存解决方案更节能、更可靠,并为需要最佳低功耗DRAM产品的移动平台带来运行速度更快的LPDDR5,使5G用户在不牺牲续航的同时能在手机上进行更多任务操作。

美光的1α先进内存节点提供8Gb至16Gb的密度,有助于延长现有DDR4和LPDDR4列产品的生命周期,为服务器、客户端、网络和嵌入式领域的应用提供更低功耗、更可靠的支持,从而降低客户再次验证的成本。对于具备较长产品生命周期的汽车嵌入式解决方案、工业PC和边缘服务器等应用场景而言,1α制程同样保证了在整个系统生命周期内更具优势的总体拥有成本。

在CPU领域,台积电在去年量产5nm节点工艺,目前正准备推出3nm节点技术。这些先进工艺使用极紫外EUV光刻工艺,而存储芯片行业目前还处于18nm EUV技术,这些1X、1Y、1Z工艺DRAM芯片对EUV光刻的依赖并非必须品。这里的1X nm节点(16-19nm),1Y nm节点(14-16nm),1Z节点(12-14nm)都采用了深紫外DUV光刻工艺。

至于美光本次推出的1α节点DRAM产品,估计属于12nm技术,后续将会扩展和精进到1β和1γ的10纳米。(Jack Zhang)
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