HARMEMS即高深宽比微机电系统技术，英文High Aspect Ratio MEMS，由飞思卡尔半导体公司（Freescale Semiconductor）。

HARMEMS是一种经过验证的技术，用于安全气囊传感应用。加速计采用先进的传感器设计，增强了传感器的偏移性能。HARMEMS技术具有过阻尼机械响应和出色信噪比，以满足客户要求。由于ESC系统（Electronic Stability Control）安装在车箱内或车蓬下面，因此过阻尼HARMEMS技术能够很好地预防高频率、高振幅寄生振动。

对ESC应用而言，更高信噪比和飞思卡尔的基于DSP的信号链，提供了更广的范围和高灵敏度，且最低有效位（LSB）噪声不到一个。

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