MEMS元器件的产品类型繁多，目前商业化的主要产品包括微流体元器件、惯性传感器、压力传感器、RF MEMS、光学MEMS等等。属于惯性传感器的三轴加速度计(Tri-axis Accelerometer)是其中相当实用和有趣的一项新兴产品。目前二轴加速度计已广泛被用在车辆当中，当车子一旦发生碰撞，它就会感测到并自动触发安全气囊(Airbag) 。

在信息及消费性的市场上，三轴加速度计可用来保证电子产品，以笔记本电脑为例，当它不小心从桌面或其它地方坠落时，三轴加速度计会侦测到此一不平常的加速度变化，并实时在设备碰撞地面时锁住硬盘磁头，以免造成的硬盘驱动器上数据的遗失。同样的道理，它也可以用于汽车遭拖移时的防盗侦测功能。

由于三轴加速度计可以用来测量加速度、探测运动方向和倾角，因此也可以用来作为状态识别装置，例如通过倾斜角度来向上或向下滚动手机、PDA及3D游乐器的屏幕，或以摇动的方式来关闭这些设备。这种通过特定动作来下达控制指令的用途，除了提供了键盘输入以外的便利途径，也为强调趣味变化与增值功能的消费性手持设备增添了许多想象空间。

还有一项重要的应用，那就是将三轴加速度计、陀螺仪(Gyroscope)和磁罗盘等MEMS元器件与GPS结合，能够提供所谓的方位推估(Dead Reckoning, DR)功能。当汽车在无法接收GPS信号的地方或GPS信号不良时，DR功能就能取代GPS继续进行导航定位。通过上述各种传感器，DR可以推算出汽车的行进距离和方向。在短距离内，DR系统所提供的数据比GPS的信号来得准确，因此可做为短距离内的汽车定位误差修正辅助，不过，当时间增加时，误差累积效应会愈来愈大，导航的精确度就会大幅下降。