【产通社,11月21日讯】上海微电子装备有限公司(SMEE)官网消息,其11月4日在第十六届中国国际工业博览会(CIIF 2014)上推出了面向IGBT退火工艺的SLD500激光退火设备,吸引了业界同行和客户的广泛关注。
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