【产通社,10月10日讯】安森美半导体(ON Semiconductor;美国纳斯达克上市代号:ONNN)消息,其加入了领先纳米电子研究中心imec的多合作伙伴业界研究及开发项目,共同开发下一代硅基氮化镓(GaN-on-Si)功率器件。
氮化镓具有优异电子迁移率、更高击穿电压及良好导热性的特性,使其非常适合于要求高开关能效的功率器件及射频(RF)器件。如今,基于氮化镓的功率器件成本过高,不适合大批量制造,因为它们使用非标准生产工艺在小半径的晶圆上制造。
imec的广泛规模研究项目着重于开发200mm晶圆上的硅基氮化镓技术,及降低氮化镓器件成本和提升性能。imec汇聚领先集成器件制造商(IDM)、晶圆代工厂、化合物半导体公司、设备供应商及衬底供应商,已经卓有成效地取得重大技术进步。
2011年,imec的研究项目成功地生产出200mm硅基氮化镓晶圆,该工艺让标准高生产率200mm晶圆厂随手可得。此外,imec开发了兼容于标准CMOS工艺及工具的制造工艺,这是高性价比工艺的第二个先决条件。
查询进一步信息,请访问官方网站http://www.imec.be,以及http://www.onsemi.cn。
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