【产通社，3月15日讯】微机电系统、纳米技术和半导体市场晶圆键合与光刻设备供应商——EVG消息，其新客户沈阳硅基科技有限公司（以下简称“SST”）向其下了一份用于硅绝缘体（SOI）晶片的EVG850LT自动化生产键合系统订单。这家中美合资公司将在其顶级的SOI生产设施中利用EVG850LT（2010年9月出货）逐渐加快SOI晶片的大批量制造。

应用特点

研究与咨询机构Markets and Markets公司（位于美国得克萨斯州达拉斯市）估计，2010年至2015年期间，全球SOI市场将以15.3％的复合年均增长率增长，到2015年，其规模将达到13亿美元，这主要是由MEMS（微机电系统）和用于计算机与各种视频游戏的微处理器等应用驱动的。另外，对于新的制造工厂的投资，以及旨在推出新技术和扩大客户群规模的各种研发活动和战略合作项目，也帮助带动了市场的增长。

SST公司在高产量、高收益率EVG850成功的基础上，选择了EVG晶圆片键合机进行大批量的SOI晶片生产。由于EVG是SOI（硅绝缘体）键合设备领域的市场领袖，将有助于SST实现从研发到大批量生产的平稳技术转移，同时确保客户能够购买到在符合行业标准的SOI键合系统上生产的晶片产品。

 
供货与报价

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