【产通社，1月25日讯】阿尔卑斯电气（Alps）网站消息，其已经开发了目前世界上最小的HSPPA系列压敏电阻式防水型MEMS压力传感器（绝对压检测用）。HSPPA系列采用薄膜处理技术、细微加工技术以及封装技术，实现了世界上最小（3.95×1.85mm）的小型、低矮化压敏电阻式防水型压力传感器。主要应用：在野外或潜水手表中用于测量气压和水压，用数码相机和数码摄像机进行水中摄影时被用于色彩校正和检测水深。

产品特点

HSPPA系列压敏电阻式采用了将电阻变化作为电压信号来读取并从中算出压力的方式，薄膜因来自外部的压力而弯曲使形成于薄膜上的压敏电阻元件变形，从而产生用上述电阻变化。这种方式直接将薄膜的弯曲度作为压敏电阻元件的电阻变化来提取，因此可形成简单的元件结构，适合于小型化。

为了实现防水性能，对结构和使用材料进行了优化，从而确保了高耐水性并实现了高灵敏度的压力检测功能。为了产品的稳定特性，通过优化蚀刻条件形成了稳定的空腔，实施了. 抑制外应力影响的Si-Si密封接合。HSPPA系列主要特点包括：
. 通过使用压敏电阻元件，实现了薄小型化。
. 通过优化封装，减少了性能不稳定。
. 通过密封加工，在水深50m处也可使用。

除了防水型以外，一同推出的还有一般的MEMS压力传感器（单个元件型、搭载放大器型）。

供货与报价

 
HSPPA系列目前已经量产。查询进一步信息，请访问http://www.alps.com/c/news_release/index.html。