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【产通社，12月19日讯】广州奥松电子有限公司（Guangzhou Aosong Electronics Co.,Ltd.）官网消息，广东省半导体装备及零部件学会2025年学术会议暨半导体装备及零部件产业链合作发展论坛11月14日在佛山举办，其研发团队撰写的学术论文《高可靠性电容薄膜真空计膜片材料的耐腐蚀性能研究》荣获会议优秀论文。
论文系统研究了通过离子注入技术对镍基合金进行铌元素表面改性的工艺路径，显著提升了膜片材料在含卤素腐蚀环境中的耐久性与可靠性。该研究为解决半导体制造过程中真空计量元件在苛刻工况下的寿命与稳定性问题，提供了新材料路径与实验依据。查询进一步信息，请访问官方网站 http://www.aosong.com。（张怡，产通发布） （完）
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