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湖北和远气体取得一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺发明专利
2025/2/10 13:14:21     

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【产通社,2月10日讯】湖北和远气体股份有限公司(Hubei Heyuan Gas Co.,Ltd.;股票代码:002971)消息,其近日取得了《一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺》发明专利,具体情况如下:
专利号:ZL2021 11321362.7
专利申请日:2021 年 11月 09 日
授权公告日:2025 年 01月 14 日
证书号:第7668169号

本发明专利“一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺”是一种以工业产品气体为原料,采用高分子渗透膜、金属阳离子交换树脂、稀土金属化合物脱水与高压精馏的结合,可将组分中 CO2 杂质脱除至 0.1ppm 以下、金属离子含量脱除至 10ppt 以下;所述制备工艺摆脱了现有技术对原料的依赖,在生产超高纯氯化氢气体的同时产生多种品质的氯化氢气体,尾气减少的同时易于处理,适用于工业化推广。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.hbhy-gas.com。(robin, 张底剪报)    (完)
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