
【产通社,11月17日讯】尼康精机(上海)有限公司(Nikon Corporation)官网消息,其推出了ArF液浸式扫描光刻机NSR-S625E。由于提高了产量和设备运行的稳定性,NSR-S625E实现了尼康半导体光刻设备历史上最高的生产效率,可为各种半导体器件的高效生产做出贡献。 产品特点 随着应用的多样化和半导体需求的增多,客户对半导体曝光系统的要求也变得越来越复杂和精密。尼康坚持通过”伴走”活动,为客户提供量身定制的解决方案。为了满足客户日益多样化的需求,尼康决定通过开发ArF液浸式扫描光刻机NSR-S625E而扩大其光刻机产品范围。 新开发的NSR-S625E是在市场上有着10年销售史的NSR-S622D后继机。它提供相比大约1.3倍的产出量,大大改善了运行稳定性,此外还配有iAS,助力于各种半导体的高效生产。 供货与报价 2024年2月发售。查询进一步信息,请访问官方网站 http://www.nikon-precision.com.cn/news/。(张怡,产通发布) (完)
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