 【产通社,4月11日讯】东莞铭普光磁股份有限公司(Dongguan Mentech Optical & Magnetic;股票代码:002902)消息,其近日取得中华人民共和国家知识产权局颁发的明专利证书, 具体情况如下: 证书号:第5846652号 发明名称:一种晶圆减薄方法 专利号:ZL202110645550.9 发明专利申请日:2021年06月10日 授权公告日:2023年04月07日 本发明涉及晶圆处理技术领域,具体一种减薄方法取衬底进行预处理;在待的晶圆表面覆上胶体层,测量厚度控制度在预定范围内;将晶圆粘接衬底上并对进行减薄处理,待完成后使晶圆和衬底进行分离。以此先将粘接在上再对减薄处理,使得衬底在减薄处理过程中能为晶圆提供支撑,可以有效降低时碎裂的风险,提高晶圆的生产质量有利于品良率。 查询进一步信息,请访问官方网站 http://www.mnc-tek.com。(Robin Zhang,张底剪报) (完)
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