加入收藏
免费注册
用户登陆
首页
展示
供求
职场
技术
智造
职业
活动
视点
品牌
镨社区
今天是:2024年4月30日 星期二 您现在位于:
首页
→
产通直播
→ STEAM(学术科研)
中科院微电子所在SOT-MRAM的关键集成技术领域获进展
2023/3/3 11:02:44
【产通社,3月3日讯】中国科学院微电子研究所(Microelectronice of Chinese Academy of Sciences)官网消息,磁随机存储器(MRAM)因具有非易失性、低功耗以及高访问速度等特点,在未来新兴存储领域颇具应用前景。尤其是基于自旋轨道矩(SOT)技术的MRAM存储器具有超高速、高耐久性的优势,更适用于高速缓存。然而,在SOT-MRAM集成中存在技术瓶颈,制约了其走向应用。隧道结的刻蚀工艺是关键的技术挑战和难点之一。在SOT隧道结(SOT-MTJ)刻蚀过程中,金属副产物的反溅使得MTJ的MgO隧穿势垒层(厚度~1nm)短路,从而造成较低的器件良率。半导体研发机构和企业在SOT-MRAM刻蚀工艺上开展了研究,提供了良好的解决思路,而SOT-MRAM的刻蚀工艺依然是业界面临的重要技术挑战。 
为了更好地解决SOT-MRAM的刻蚀技术难题以实现SOT-MTJ的高密度片上集成,同时探讨不同的刻蚀工艺对器件磁电特性的影响,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员罗军课题组开发出基于垂直磁各向异性SOT-MTJ的刻蚀“停MgO”工艺(SOMP-MTJ)。该工艺有效地解决了SOT-MRAM制造中的刻蚀短路问题。传统的SOT-MTJ刻蚀方法(NSOMP-MTJ)使刻蚀停止在底电极上,在刻蚀过程中MgO层极易附着金属,造成器件短路。刻蚀“停MgO”工艺使MTJ刻蚀终点精确地停止在~1nm厚的MgO层上。由于隧穿层MgO的侧壁从未暴露,从而避免了MgO层的短路。利用“停MgO”刻蚀工艺制备的SOT-MTJ器件阵列,晶圆的电阻良率可提升至100%,同时提高了器件的TMR、电阻、矫顽力等关键参数的均匀性。另外,“停MgO”器件具有更高的热稳定性、更低的翻转电流密度以及高达1 ns的翻转速度。该成果为高速、低功耗、高集成度SOT-MRAM的刻蚀技术问题提供了关键解决方案。 
相关研究成果以Enhancement of Magnetic and Electric Transport Performance of Perpendicular Spin-Orbit Torque Magnetic Tunnel Junction by Stop-on-MgO Etching Process为题,发表在《电子器件快报》(IEEE Electron Device Letters)上。研究工作得到科技部、国家自然科学基金、中科院等的支持。 查询进一步信息,请访问官方网站
http://www.ime.cas.cn/zhxx/
,以及
http://ieeexplore.ieee.org/document
.10016628。(张嘉汐,产通发布)
(完)
→
『关闭窗口』
-----
[
→ 我要发表
]
上篇文章:
中科院可控生长InSb纳米低维结构及其高质量量子器…
下篇文章:
Rambus推出6400MT/s DDR5寄存时钟驱动器提升…
→
评论内容
(点击查看)
(没有相关评论)
您是否还没有
注册
或还没有
登陆
本站?!
分类浏览
|
官网评测
>|
官网
社区
APP
|
STEAM
>|
学术科研
产品艺术
技术规范
前沿学者
|
半导体器件
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
电子元件
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
消费电子
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
商业设备
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
电机电气
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
电子材料
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
电子测量
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
电子制造
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
应用案例
>|
家庭电子
移动电子
办公电子
通信网络
交通工具
工业电子
安全电子
医疗电子
智能电网
固态照明
|
工业控制
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
通信电子
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
交通工具
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
基础工业
>|
产品通报
企业动态
VIP追踪
|
农业科技
>|
产品通报
企业动态
专家追踪
|
信息服务
>|
企业动态
|
光电子
>|
企业动态
关于我们
┋
免责声明
┋
产品与服务
┋
联系我们
┋
About 365PR
┋
Join 365PR
Copyright @ 2005-2008 365pr.net Ltd. All Rights Reserved. 深圳市产通互联网有限公司 版权所有
E-mail:postmaster@365pr.net
不良信息举报
备案号:
粤ICP备06070889号