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Samsung三星电子量产采用独立MBCFET结构的3纳米GAA晶圆代工
2022/9/4 8:24:17     

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【产通社,9月4日讯】三星电子有限公司(Samsung Electronics;KRX韩国证券交易所股票代码:005930.KS)官网消息,其于7月25日在韩国京畿道华城园区V1生产线(EUV专用)为采用了新一代晶体管全环绕栅极(Gate All Around,简称GAA)制程工艺节点的3nm芯片晶圆代工产品举行了出厂仪式。逾百人参与当天活动,其中包括韩国产业通商资源部部长李昌洋、来自合作公司及无晶圆厂的相关人员、三星电子DS部门负责人庆桂显代表理事(社长)及员工。

三星电子晶圆代工事业部自信地表示:“我们将凭借创新的技术力量,向世界前列迈进”,展示出三星通过3纳米GAA工艺量产和先进晶圆代工技术加强业务竞争力的雄心。

三星电子晶圆代工事业部技术开发室负责人郑基泰(音)副社长,对技术从开发到量产的整个过程进行了说明。他特别提到,晶圆代工事业部、半导体研究所、全球制造和基建统管等事业部,在此期间进行了跨部门友好协作,成功攻克了技术开发的壁垒。

随后,三星电子DS部门负责人庆桂显代表理事对员工们的工作表示了肯定:“通过此次产品的量产,三星电子在晶圆代工领域画下了重要的一笔”。他强调说:“在鳍式场效应晶体管遭遇技术壁垒的当下,作为新的替代方案的GAA技术,在早期开发中获得成功,这是具里程碑意义的创新性成果。”

韩国产业通商资源部部长李昌洋在贺词中,对三星电子员工和半导体各界人士所付出的努力表示了感谢,他叮嘱称:“我们希望三星电子、系统半导体行业和材料、零部件、设备行业齐心向前,在激烈的精密工艺竞争中保持领先水平”。同时,他还强调:“韩国政府也会根据此前发布的《半导体超级强国战略》文件,全力支持民间投资、人才培养、技术开发和材料、零部件、设备生态系统构建等方面。”

自2000年初起,三星电子就已经开始了对GAA晶体管结构的研究。自2017年开始,将其正式应用到3纳米工艺,并于今年6月宣布启动利用GAA技术的3纳米工艺的量产。三星电子首次在高性能计算(HPC)领域中应用了3纳米GAA工艺,同时也正与主要客户积极合作,努力将该工艺应用到移动SoC等更多的产品群中。

参加活动的韩国半导体设备企业WONIK IPS李贤德代表理事表示:“在和三星电子共同为3纳米GAA晶圆代工工艺量产做准备的过程中,WONIK IPS员工的能力也得到了进一步提升。今后将继续和三星电子携手,为韩国半导体设备产业的发展倾尽全力。”

此外,韩国无晶圆厂企业Telechips李长奎代表理事则表示:“Telechips十分期待在未来利用三星电子的高精度工艺,进行产品设计”,“三星电子向韩国无晶圆厂积极提供高精度晶圆代工工艺,同时还制定了多种扶持政策,来帮助无晶圆厂扩大产品设计范围。”

三星电子在华城园区首先开启3纳米GAA晶圆代工工艺产品的量产,未来将扩大到平泽园区。查询进一步信息,请访问官方网站http://www.samsung.com/semiconductor/cn。(张怡,产通发布)    (完)
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