 【产通社,6月23日讯】中密控股股份有限公司(Sinoseal Holding Co.,Ltd.;股票代码:300470)消息,其近日收到由中华人民共和国国家知识产权局颁发的《密封装置、密封控制系统及硅烷压缩机》实用新型专利证书,获得形式为原始取得,专利号ZL202123453189.4,申请日2021年12月31日,授权公告日2022年6月14日,证书号第16728573号。 实用新型专利《密封装置、密封控制系统及硅烷压缩机》涉及一种密封装置和密封控制系统,主要应用于制备高纯度硅烷的含硅半导体生产技术领域。该密封装置采用独特的四级密封串联布置的型式,系统流程上配置了气体过滤、气体调压、泄漏物监测及硅烷泄漏物回收等单元及完备的自动控制手段。该技术可保证机组内部极具自燃性的硅烷气体不会泄漏至大气中、机组外部非硅烷气体不会进入压缩机内部、微量硅烷泄漏气体可回收等,提高了密封装置运行的安全性和稳定性。该技术已应用于公司部分产品上。 查询进一步信息,请访问官方网站 http://www.sns-china.com。(Donna Zhang,张底剪报) (完)
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