【产通社，4月29日讯】合肥芯碁微电子装备股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co.,Ltd；股票代码：688630）2021年年度报告显示，其2021年研发投入5647.98万元，同比增加66.39%。截至2021年末，公司研发人员152人，占比达42.11%，较期初增加100%，研发人员薪酬较去年同期增加941.4万元。同时，报告期内，公司深化校企合作，与西交大、中科大、合工大建立联合实验室，助力研发、培养人才并吸引高端人才加入公司。

公司在微纳直写光刻核心技术领域具有丰富的技术积累，持续在系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及ECC技术、高速实时高精度图形处理技术和智能生产平台制造技术等前沿科技领域投入研发力量，持续构建高端装备在“光”、“机”、“电”、“软”、“算”的技术护城河。

报告期内，公司持续保障核心技术的先进性。首先，根据市场需求，持续进行研发投入对产品进行更新换代，在PCB领域，顺应高阶PCB不断增加的需求，产品升级朝着更精细的光刻精度发展；其次，着眼于客户需求，开发了高效、高稳定性、小型化设备；最后，提前布局相关产品，紧跟产业发展步伐，开发了阻焊设备，增加了micro LED、引线框架等应用领域。在公司与客户、产业的融合中，进一步巩固和提升了公司的核心技术优势。

截至2021年末，公司累计获得知识产权120项，其中发明专利41项，实用新型61项，外观专利4项，软件著作权14项。查询进一步信息，请访问官方网站http://www.cfmee.cn。（Robin Zhang，张底剪报）    （完）