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北方华创在碳化硅(SiC)领域的“十年磨一剑”
2021/9/17 9:02:48     

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【产通社,9月17日讯】北方华创科技集团股份有限公司(NAURA Technology Group Co., Ltd.;股票代码:002371)官网消息,其开展SiC晶体生长设备和技术的研发攻坚至今已有十余年积累,具有一支成熟的装备及晶体生长工艺的研发团队。 

碳化硅晶片主要用来做成高压功率器件和高频功率器件,主要分为两种类型:导电型的 SiC 晶片经过 SiC 外延后,可制作成高压功率器件;半绝缘型的 SiC 晶片经过 GaN 外延后,可制成RF器件。从2017年正式发布4吋导电型SiC长晶设备解决方案并将首台设备推向市场以来,北方华创现已具备大尺寸、导电/高纯半绝缘型、粉料合成/晶体生长/晶锭热处理等多种技术路线的10余种设备机型,助力中国SiC企业实现高速发展。 

北方华创始终将“以客户需求为导向的持续创新”作为企业的经营理念。作为国内先进的半导体设备厂商,北方华创提出了“工艺研发指导设备研制,与大生产线紧密结合”这一科学的技术攻关路线,强调以客户需求为牵引,开发出能满足芯片生产线使用的工艺设备,并在实现工艺能力的过程中不断完善设备软硬件设计,从而快速、准确地满足用户要求,开拓先进高端设备的应用市场。 

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.naura.com。(张怡,产通发布)    (完)
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