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泰晶科技全自动晶圆调频及测选机适用半导体光刻制程及质量提升
2021/6/19 13:09:52     

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【产通社,6月19日讯】湖北泰晶电子科技股份有限公司(Hubei TKD Crystal Electronic;股票代码:603738)官网消息,其最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备——全自动晶圆调频及测选机,近日又取得新突破,该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测,配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功,不仅填补了行业空白,而且保证了关键性技术的保密性,为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。 


产品特点


该设备采用特定的光谱取代原有光源,使用全新的测试线路及测量方式,大幅提高了设备的精度及效率。目前使用设备频率调整精度可达±5PPM,合格率98.5%以上,各项指标达到国际先进水平。拥有自主知识产权的设备研发,使公司具有持续创新能力,经过设备升级,可加工更小型的1mm系列产品。

该设备的研发成功不仅极大提高了产品品质及生产效率,而且设备性能优势得到日本同行的高度认可。


供货与报价


目前该设备已交付多套给某全球著名同行,得到该全球巨头同行的高度评价。查询进一步信息,请访问官方网站http://www.sztkd.com。(张怡,产通发布)    (完)
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