【产通社，4月25日讯】合肥芯碁微电子装备股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co.,Ltd；股票代码：688630）2020年年度报告显示，其报告期内在微纳直写光刻核心技术领域具有丰富的技术积累，在系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及ECC技术、高速实时高精度图形处理技术和智能生产平台制造技术等前沿科技领域不断投入研发力量，持续构筑和强化产品技术壁垒。

截至2020年12月末，公司已获得79项国家专利授权，其中发明专利25项，实用新型专利51项，外观设计专利3项。

通过持续的自主研发，公司已掌握直写光刻设备关键系统模块的自主研发能力，形成了系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及ECC技术、高速实时高精度图形处理技术等一系列直写光刻关键技术。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.cfmee.cn。（Robin Zhang，张底剪报）    （完）