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深圳清溢光电2020年申请掩膜版(光罩)发明专利6件
2021/4/13 12:02:24     

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【产通社,4月13日讯】深圳清溢光电股份有限公司(Shenzhen Qingyi Photomask Limited;股票代码:688138)2020年年度报告显示,其主要产品为掩膜版(Photomask),又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具,是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。掩膜版用于下游电子元器件制造业批量生产,是下游行业生产流程的关键模具,是下游产品精度和质量的决定因素之一。

报告期内,公司主要研发成果有7项:
1)5代多栅(Multi-slit)产品关键技术研发项目研发成功,项目完成5代多栅(Multi-slit)产品关键技术研发;
2)复杂图档的处理方法研发项目研发成功,达到设计文件的优化,缩小了图档的数据量,提升了Mask复杂图档的CAM处理效率;
3)CD条状渐变补偿MASK制作项目研发成功,实现对8.5代以下平板显示图形,STEP 可低至0.5mm以下的CD渐变处理,用于补偿Lens MURA, 提升平板显示用掩膜版产品的品质及良率;
4)8.5代HTM工艺项目研发成功,掌握HTM掩膜版技术并通过客户认证;
5)高精度IC掩膜版修补机安装运作项目研发成功,掌握了高精度IC掩膜版的修补技术;
6)520*800 5代a-Si用 COM-ITO Mask 产品开发项目研发成功,掌握了520*800 5代a-Si用 COM-ITO Mask 工艺技术;
7)半导体芯片、系统级封装、MicroLED芯片用掩膜版技术的研发升级,提升了公司半导体芯片及系统级封装、MicroLED芯片用掩膜版产品的技术能力。

2020年,公司通过国家高新技术企业复审。申请国家发明专利6件,实用新型2件,软件著作权2件;新获授权发明专利2件,实用新型2件,软件著作权2件。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.supermask.com。(Robin Zhang,张底剪报)    (完)
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