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安集微电子2020年获10项抛光液及光刻胶去除剂相关发明专利
2021/4/1 7:42:20     

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【产通社,4月1日讯】安集微电子科技(上海)股份有限公司(Anji Microelectronics Technology;股票代码:688019)2020年年度报告显示,其报告期内继续加强研发投入,与行业领先客户合作,进一步了解客户需求,并为其开发创新性的整体解决方案。在抛光液板块积极加强、全面开展全品类产品线的布局,旨在为客户提供完整的一站式产品和解决方案;在光刻胶去除剂板块,专注致力于攻克领先技术节点难关并提供相应的解决方案。

在铜及铜阻挡层抛光液方面,公司紧跟摩尔定律,紧跟行业领先客户的先进制程,提前进行技术平台的布局及技术能力的积累,持续推进相关产品的研发,持续优化已量产的14nm技术节点及以上产品的性能及稳定性,为进一步扩大销售提供技术支持,10nm-7nm技术节点的技术研发按照计划进行。报告期内,已有多款产品在逻辑和存储芯片领域实现量产销售并持续改进。

在钨抛光液方面,公司加大了产品平台的研发力度,钨抛光液产品平台逐步完善,已有多款产品应用到了3D NAND先进制程中,并持续优化提升,稳固了在存储器芯片厂的市场地位。同时,钨抛光液新产品在逻辑芯片领域也已进入客户论证阶段,后续产品也在持续研发中。

在介电材料抛光液方面,公司与客户紧密合作,共同开发的以二氧化铈为基础的产品突破技术瓶颈,已在3D NAND先进制程中取得重要进展,并获得关键客户认可。

在光刻胶去除剂方面,公司铜大马士革工艺光刻胶去除剂已量产并且持续扩大应用;28nm技术节点后段硬掩模工艺光刻胶去除剂技术方面取得突破性进展,并已在重要客户上线稳定使用,品质性能与国际领先供应商等同,实现该类产品在28nm技术节点的进口替代;14nm技术节点后段蚀刻残留物去除剂的产品开发仍在按计划进行。

同时,报告期内公司开始建立核心原材料自主可控供应的能力,以支持产品研发,并保障长期供应的可靠性。

报告期内,公司及其子公司共获得授权发明专利10项。截至2020年12月31日,公司及其子公司共获得205项发明专利,其中中国大陆152项、中国台湾44项、美国4项、新加坡3项、韩国2项;另有226项发明专利申请已获受理。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.anjimicro.com。(张怡,产通发布)    (完)
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