【产通社，3月30日讯】中微半导体设备有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代码：688012）2020年年度报告显示，其报告期内实现营业总收入22.73亿元，比上年增长16.76%；实现归属于上市公司股东的净利润4.92亿元，比上年增长161.02%。

（1）CCP刻蚀设备

报告期内，公司CCP刻蚀设备产品保持竞争优势，Primo AD-RIE、Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位。此外，在先进逻辑电路方面，公司持续升级硬件性能，成功取得5纳米及以下逻辑电路产线的重复订单。在存储电路方面，公司的刻蚀设备在64层及128层3D NAND的生产线得到广泛应用。随着3D NAND芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单稳步增长。同时，公司积极布局动态存储器的应用，并开始工艺开发及验证。公司与主流客户积极合作，定义下一代CCP刻蚀机的主要功能及技术指标，正开发更先进的CCP刻蚀机产品。

（2）ICP刻蚀设备

公司ICP刻蚀设备已经逐步趋于成熟，新推出的Primo nanova产品在10家客户的生产线上进行验证，已有超过50个工艺在客户的生产线上达到指标要求，且持续扩大应用验证范围。2020年开始，Primo nanova产品逐步取得客户的重复订单。尤其是2020年下半年，在国内存储客户的扩产带动下，该产品的销售取得较大进展。
在持续提升Primo nanova刻蚀设备的市场份额的同时，公司研发的具有高输出率特点的双反应台ICP刻蚀设备Primo Twin-Star也已经在客户端完成认证。该产品应用中微公司国际领先、独特的双反应台设计理念，沿用了Primo nanova ICP的大部分硬件特征，使得机台在具有良好刻蚀性能的同时，提升客户单位资金投入的产能，从而丰富ICP刻蚀设备种类，增强ICP刻蚀产品的整体竞争力。

（3）MOCVD设备

报告期内，公司继续发挥在蓝光LED设备的竞争优势，Prismo A7等MOCVD产品实现大量发货。2020年7月，中微公司宣布推出应用于深紫外LED外延片生产的Prismo HiT3 MOCVD设备，该设备已在行业领先客户验证成功。公司正在开发可用于MiniLED生产的新型MOCVD设备产品，已在客户端取得实质性进展。

（4）VOC净化设备

子公司中微惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器，开发制造了工业用大型VOC净化设备。设备可根据客户的要求灵活配置不同处理规模的系统，提供给客户可靠、稳定、安全和节能的VOC净化解决方案。目前，中微惠创的VOC净化设备已应用于国内平板显示行业生产线。

（5）分布式生态工业互联网平台

子公司中微汇链面向半导体设备细分产业各环节核心厂商，建立资源汇聚、数据互连、流程互通的基于区块链的分布式互联网平台。向500余家入驻企业用户提供穿透式供应链协同、网络化智能制造、质量溯源存证等200多个可订阅微服务。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.amec-inc.com。（张嘉汐，产通发布）    （完）