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森美协尔(Semishare)推出SCG series高低温真空探针台
2020/5/7 13:41:09     

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【产通社,5月7日讯】深圳市森美协尔科技有限公司(Semishare Electronic)官网消息,随着集成电路复杂度的增加,对探针台也提出了更高的要求,其Model SCG series高低温真空探针台可任意区域观测样品,20倍目镜及0.8-5倍物镜变焦倍率,实现样品16-100x放大倍率。


产品特点


森美协尔以自主创新技术,不断产品升级迭代,攻克技术壁垒,打造简易操作、快速检测,精准测量、运行稳定四大特色黑科技探针台测试设备,全面助力半导体晶圆测试领域,实现快速测试效率提升,有效控制测试成本,为更具挑战的芯片时代助力。

Model SCG series高低温真空探针台主要特点包括:
(1)真空腔体外腔与屏蔽腔双腔体结构,为样品测试提供极限压力10-4Pa真空环境(当使用分子泵时)。
(2)探针臂XYZ调节系统自锁丝杠与交叉滚子导轨结构,精确探针定位10um,探针漂移量优于±60nm/30mins高精度点针;同时三轴管夹具与高屏蔽功能三轴线缆,测试漏电精度达50FA。 
(3)空气弹簧式支撑架防震系统,有效避免细微低频率频带振动带来的测试影响。 
(4)显微镜调节支架自由伸缩与高低并自带调节座,可任意区域观测样品;20倍目镜及0.8-5倍物镜变焦倍率,实现样品16-100x放大倍率。 
(5)制冷剂同轴回路抑制制冷剂提前消耗,提高制冷效率,减少制冷剂消耗;同时制冷系统调节精密针阀,自动控制流量,自动控温。
 

供货与报价


查询进一步信息,请访问官方网站http://www.semishare.com。(Lisa WU, 365PR Newswire)    (完)
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