【产通社，4月17日讯】中微半导体设备有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代码：688012）2019年年度报告显示，其正在开发新一代的电容性等离子体刻蚀设备，可加工先进逻辑器件，包括大马士革在内的各种刻蚀应用，能够涵盖5纳米及更先进工艺刻蚀需求和更多关键应用。公司的电容性等离子体介质刻蚀设备已应用于64层闪存器件的量产，正在开发新一代涵盖128层和更先进关键刻蚀应用的刻蚀设备和工艺。此外，公司的电感性ICP等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，正在进行下一代产品的研发，以满足7纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的刻蚀需求。 

2019年吗，公司营业收入同比增长18.77%达到19.47亿元，归母净利润同比增长107.51%达到1.89亿元。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国内外知名厂商55纳米到5纳米的众多芯片生产线上；特别是中微的电容性CCP等离子体刻蚀设备，已在国际领先的晶圆生产线核准5纳米的若干关键步骤的加工。

公司的MOCVD设备已在全球氮化镓基LED设备市场中占据领先地位。公司研发的用于制造深紫外光LED的MOCVD设备已在行业领先客户端验证成功。用于Mini LED生产的MOCVD设备的研发工作正在有序进行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD设备也在开发中。公司同时兼顾外延性发展，子公司中微汇链、中微惠创在新业务拓展领域取得了积极的进展。此外，公司也参股投资了一些具有协同效应潜力的项目。 

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.amec-inc.com。（robin, 张底剪报）    （完）