 【产通社,12月30日讯】中国赛宝实验室(China CEPREI Laboratory)官网消息,根据《第六届广东专利奖评选结果公示》公告,林晓玲团队的发明专利“倒装芯片检测样品的制备方法”近期获得了广东省专利优秀奖。 “倒装芯片检测样品的制备方法”创新性的提出了倒装芯片背面精确减薄法,将初始约1毫米厚的芯片减薄到小于100微米,精度正负2个微米,并保证减薄前后芯片电性能不变。该技术与地面抗辐射能力评估试验相结合,成功解决了国内宇航级集成电路抗单粒子评估试验难题,为“嫦娥”和“玉兔”可靠运行做出了关键技术支撑。与缺陷定位技术相结合,高效地完成失效分析;与背面电路修改相结合,为设计验证提供手段。该技术在航天五院、国防科大、复旦微、西安微电子研究所等单位中得到了广泛应用,也得到了他们非常高的认可度和满意度。还为加拿大萨省大学、美国思科公司解决了他们样品的芯片减薄问题,每年为单位产生过百万的经济收入。 查询进一步信息,请访问官方网站 http://www.ceprei.com。(robin, 张底剪报) (完)
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