
【产通社,9月22日讯】Alps公司宣布,已经开发了用于检测气压或者高度的HSPP系列压敏电阻式MEMS压力传感器(绝对压检测用),该产品为目前世界上最小的压力传感器。
该产品采用薄膜处理技术、微细加工技术及封装技术,实现了小型、低矮化。单个组件的小型型号(HSPPAR)实现了长2.5mm x 2.5mm x0.7mm的尺寸,内置功率放大器的混合型(HSPPAA)实现了长3.5mm x 3.5mm x 1.0mm的尺寸。主要特点包括:
·两种型号的产品都适合表面贴装,有助于提高整机产品的设计自由度。
·本产品进行压力检测时采取将电阻变化作为电压信号来读出的方式,来自外部的压力使薄膜弯曲并使形成于薄膜上的压敏电阻组件变形,该变形产生用于检测的上述电阻变化。
这种方式将薄膜的弯曲量直接当作压敏电阻组件的电阻变化来捕获,因此可形成简单的组件结构,而适合小型化。
·通过微细加工技术加工出极小的传感组件,实现了产品的薄小型化。
·采取通过优化蚀刻条件形成稳定的空腔,抑制了外应力影响。
·Si-Si密封接合。
·采用不受温度变化影响的陶瓷材料等等措施,使产品性能加以稳定。
该产品主要用于手机、PND、手表、计步器等,并将从今年的10月起开始出售样品,样品价格为1,000日元起(含消费税)。查询进一步信息,请访问
http://www.alps.com/c/news_release/index.html。
(完)