【产通社，12月15日讯】上海新阳半导体材料股份有限公司（Sinyang Semiconductor Materials；股票代码：300236）官网消息，第21届中国国际工业博览会于2018年9月19-23日在国家会展中心（上海）举行，其SYS9058干法蚀刻清洗液产品荣获第21届工博会新材料优秀参展产品一等奖。

中国工博会旗下分立8个专业展区，12个展馆，其中新材料产业展充分利用中国工博会在先进装备制造领域的平台优势，整合石油化工、机器人、信息技术、新能源、汽车、航空航天及国防军工等产业链上下游资源，汇聚全球材料领先企业，集中展示顶尖材料技术在先进装备制造领域的应用成果，打造一个全球材料产业应用的新平台。由松江区经济委员会牵头了松江9家企业，协同“G60科创走廊”参展中国工博会新材料产业展，9家材料企业来自不同行业，积极展示了各自领域中的亮点产品及尖端技术。上海新阳作为半导体材料企业也位列其中。

SYS9058是由多种活化物组成的高性能超纯化学品，主要应用于芯片制程工艺中干法刻蚀与灰化后的清洗，特别对Cu/Low-k材料的清洗有效。在中芯国际130-28nm工艺生产线上已取代国际同类产品。此前，中芯国际此类材料完全依赖于进口。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.sinyang.com.cn。（robin, 张底剪报）    （完）