【产通社，9月24日讯】上海微电子装备有限公司（SMEE）官网消息，第20届中国国际工业博览会9月19-23日在国家会展中心（上海）举办，SMEE以“光刻梦想，芯创未来”为主题参展，隆重展出了应用于IC前道制造的600系列光刻机以及应用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造的200系列光刻机。

其中，600系列IC前道投影光刻机荣获本届工博会银奖。这是继500系列先进封装光刻机荣获第14届工博会金奖、300系列步进投影光刻机荣获第15届工博会铜奖、4.5代高分辨率投影光刻机荣获第18届工博会金奖、SPA200系列光配向设备荣获第19届工博会银奖之后，我司产品再度揽获工博会奖项。

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