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上海微电子装备SMEE 600系列IC前道投影光刻机获中国国际工业博览会银奖
2018/9/24 22:08:39     

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【产通社,9月24日讯】上海微电子装备有限公司(SMEE)官网消息,第20届中国国际工业博览会9月19-23日在国家会展中心(上海)举办,SMEE以“光刻梦想,芯创未来”为主题参展,隆重展出了应用于IC前道制造的600系列光刻机以及应用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造的200系列光刻机。

其中,600系列IC前道投影光刻机荣获本届工博会银奖。这是继500系列先进封装光刻机荣获第14届工博会金奖、300系列步进投影光刻机荣获第15届工博会铜奖、4.5代高分辨率投影光刻机荣获第18届工博会金奖、SPA200系列光配向设备荣获第19届工博会银奖之后,我司产品再度揽获工博会奖项。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.smee.com.cn。(Lisa WU, 365PR Newswire)     (完)
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