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上海微电子装备（SMEE）晶圆缺陷自动检测设备获得SEMI S2认证证书

2018/9/14 6:54:57

【产通社，9月14日讯】上海微电子装备有限公司（SMEE）官网消息，其晶圆缺陷自动检测设备近日顺利通过了专业公司的安全认证测试，获得SEMI S2认证证书。该设备主要应用于芯片前道制造、先进封装等集成电路制造领域，可自动扫描晶圆的表面图形，自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类，能够极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。

查询进一步信息，请访问官方网站

http://www.smee.com.cn。（Lisa WU, 365PR Newswire）（完）

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