【产通社，4月30日讯】Gigaphoton株式会社官网消息，下一代解决方案FABSCAPE用于半导体曝光设备的运转监测及解析。对许多半导体制造商来说，收集、解析及活用多种设备所输出的大量数据是一项艰巨的任务，长久以来是一项待解决的课题。

Gigaphoton的董事长社长兼CEO浦中克言表示：“作为一家供应商，解决客户的问题是我们每天重要的任务，但是同时我们也认为，针对不同客户所遇到的特殊问题，提供定制解决方案以供客户自行简单迅速解决问题也是至关重要的。FABSCAPE是一款大胆的开放式软体，通过与行业内外的合作伙伴共同合作，客户能够更加深入地理解设备的数据，并对其进行统一处理。我们相信，通过将FABSCAPE作为桥梁的创新，必定能对行业做出新的贡献。”


产品特点


FABSCAPE是一开放平台，其目的是为了能统一处理任何制造商的数据而开发的。通过在FABSCAPE™上扩展插件及驱动程序，能实现所有设备数据的统一化，用户可在同样条件下更为广范地解析和评价不同设备之间的重要性能数据。此外，FABSCAPE还支持用户通过开发组合各种功能的插件及驱动程序，根据各自的需求实现应用软件的优化。

今后Gigaphoton除了可视化工具之外，还将利用以光刻设备（litho cell）为单位并能自动优化维护日程表的“AMAX”插件和AI引擎提供自动化专用插件。

除此之外，针对同时开发数据统一化解决方案的半导体制造商、设备制造商及其他机关，Gigaphoton计划在线提供FABSCAPE。此外，还将提供API、示例代码、教程、研讨会等面向开发者的丰富工具，不断促进FABSCAPE开放平台的普及。


供货与报价


查询进一步信息，请访问官方网站http://www.gigaphoton.com/cs/category/news。    （完）