 【产通社,4月3日讯】江苏南大光电材料股份有限公司(Nata Opto-electronic Material;股票代码:300346)2017年年度报告显示,其作为课题责任单位承担了“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项项目“20-14nm先导产品工艺开发”的课题“ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发”的开发任务,目前部分产品已经通过客户的验证,产品未来将向半导体行业及面板行业进军。 193nm光刻胶及配套材料启动项目获得国家02专项正式立项,得到中央财政补贴1,816.65万元。公司组建了十多人的专职研发团队,建成1500平方米研发中心,百升级光刻胶中试生产线正在建设中;产品研发进展和成果得到业界专家的认可。同时,南大光电还建立了领先的创业者机制,在高科技项目创业、研发、产业化等方面建立一系列领先的薪酬、股权和知识产权管理机制,这是保障公司持续创新和创业的基础。 公司2016年与科学技术部针对“ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发”项目签订了《国家科技重大专项课题任务合同书》,课题的研究内容是ALD金属有机前驱体产品的开发和安全气体源开发。本课题的研究目标是实现安全气体源的国产化和开发出适用于20-14nm先导产品的工艺的ALD前驱体以及其相关的工艺验证。目前该项目正在按计划顺利进行。 公司2017年与科学技术部针对“高分辨率光刻胶与先进封装光刻胶产品关键技术研发”项目签订了《国家科技重大专项项目任务合同书》,课题的研究内容是开展193nm光刻胶配方及配套材料的关键技术的研究;本课题的研究目标是完成193nm光刻胶的配方研发,建设193nm光刻胶性能评估测试验证平台。目前该项目正在按计划顺利进行。 查询进一步信息,请访问官方网站 http://www.natachem.com。(robin, 张底剪报) (完)
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