【产通社，11月26日讯】致茂电子（Chroma ATE Inc.；TWSE股票代码：2360）官网消息，其投资的兆晟纳米科技于24日与工业技术研究院进行“纳米粒子监控技术”转移签约仪式。工研院并将成为兆晟纳米科技的重要股东。兆晟纳米科技已于日前获准进入新竹科学园区，发展、制造半导体先进制程所使用溶液的纳米粒子监测系统，有效协助提升半导体制程良率。

半导体制程中常用到大量溶液，进行晶圆表面的清洗、研磨与蚀刻。随着半导体制程从20nm、10nm乃至7nm，晶体管缩小会使电流通道的宽度越窄。故制作过程中只要溶液出现一丝杂质--杀手级的纳米粒子，就会影响产品良率。目前现有的光散射粒子量测技术在20nm以下已难以精准侦测溶液中粒子的大小、数量，导致半导体制程良率难以控管。兆晟纳米将提供半导体厂一副”鹰眼“般的眼镜：“新世代溶液纳米粒子监测系统-SuperSizer”可准确侦测制程液态环境中5nm以上粒子的大小与分布情形，使厂商得以采取必要的措施改善制程提升良率。此技术除应用于半导体先进制程，亦可应用在电子、光电、生医材料等领域。

兆晟纳米科技将结合致茂集团营运据点及行销通路，拓展全球市场。致茂电子为精密电子量测仪器、自动化测试系统、智慧制造系统与全方位Turnkey测试及自动化解决方案领导厂商，在半导体测试领域已具备多项后端制程精密量测产品线，兆晟纳米科技的加入将成为致茂集团提供半导体前端制程检测解决方案的供应商，满足半导体制程更完整的检测需求。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.chromaate.com。    （完）