【产通社，4月23日讯】江苏南大光电材料股份有限公司（Nata Opto-electronic Material；股票代码：300346）2016年年度报告显示，其报告期内与科学技术部针对“ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发”项目签订了《国家科技重大专项课题任务合同书》，课题的研究内容是ALD金属有机前驱体产品的开发和安全气体源开发。本课题的研究目标是实现安全气体源的国产化和开发出适用于20-14nm先导产品的工艺的ALD前驱体以及其相关的工艺验证。目前该项目正在按计划顺利进行。

报告期内，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项《高纯砷烷、磷烷等特种气体的研发与中试》项目，目前该项目已建设完成并已按计划形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力，各项技术指标达到了项目要求，产业化研发任务顺利完成。

截止报告期末，公司共获得专利21项，其中：发明专利9项，实用新型专利12项。查询进一步信息，请访问官方网站http://www.natachem.com。     （完）