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上海微电子装备（SMEE）投影光刻机入选2016年度上海市创新产品推荐目录

2017/3/6 9:33:54

【产通社，3月4日讯】上海微电子装备有限公司（SMEE）官网消息，经上海市经济和信息化委员会、上海市科学技术委员会、上海市张江高新技术产业开发区管理委员会联合评审，其SSB245/10投影光刻机入选《2016年度上海市创新产品推荐目录》。

查询进一步信息，请访问官方网站

http://www.smee.com.cn。（完）

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