【产通社，10月18日讯】应用材料公司（Applied Materials；NASDAQ股票代码：AMAT）官网消息，其日前推出的显示器产业首台可于生产在线使用的高分辨率电子束检视（EBR）系统，可让面板厂能更迅速达成OLED与UHD LCD产品的优化良率，为显示器产业注入新概念、新活力。

应用材料公司资深副总裁暨显示器及相关联产业市场事业群及全球服务事业群总经理Ali Salehpour表示：“崭新的EBR系统是我们显示器产品坚实的生力军，能协助客户解决OLED与LCD面板制造的严峻挑战。结合应用材料公司独特的两项技术─半导体良率优化技术以及面板级扫描电子显微镜（SEM）技术，不但能开拓潜在市场，还能帮助客户避开优化良率过程上高成本的耗损。新兴应用如扩增实境与虚拟现实、智能型载具等都需要形式上更好更新的显示器。随着这些应用的日益增加，我们的EBR正好是因运而生的解决方案，更是帮助客户产品实时上市的推手。”

中国天马微电子集团副总裁马骏博士表示：“身为全球显示器领导厂，天马肯定与应用材料公司坚实的合作关系，有助于天马发展新技术，生产符合消费者需求的高质量、高效能行动装置显示器。应用材料公司的EBR系统能缩短我们武汉厂从建厂到量产的时间，使我们有能力加速将更先进的显示器技术迅速导入市场。除了EBR，我们也期待应用材料公司在行动显示制造上引进更多半导体良率技术。”


产品特点


将原来运用在半导体组件检视的先进扫描式电子显微镜技术，进一步结合在大尺寸显示器的真空系统平台上，成为生产在线使用的EBR技术，以最快速有效的方式，在制造先进行动装置与电视显示器时，发现与分析造成良率损失缺陷的原因。当制造商追求迅速、成本效益，创造良率极大化，更快速地向市场推出新型式显示器时，EBR系统已接获世界前十大显示器制造商中六家的订单，且订单需求持续增加中。

先进的显示器科技需要增加更多的制程步骤，因而会带进更多、更细微的污染物及新型态的缺陷。目前在显示器制造中所使用的自动光学缺陷检测机台无法像扫描式电子显微镜（SEM）一样有效地辨识致命与非致命的缺陷，或确认系统性地的起因。在应用材料公司尚未推出EBR系统之前，以SEM分析显示器制品，需用破坏性检视，必须将玻璃基板切割成小片以取得样品，再分别将每块小片于显微镜下做检查。这不但耗资、耗时，还几乎无法定位缺陷在整片面板上确切的位置。应用材料公司藉由提供制造在线的SEM检视，以业界最高分辨率及分析速度，又不需要破坏面板，可一举解决上述的这些限制。


供货与报价


查询进一步信息，请访问官方网站http://www.appliedmaterials.com。    （完）