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晶盛机电300mm硅单晶直拉生长设备开发课题通过验收
2016/8/31 20:34:10     

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【产通社,8月31日讯】浙江晶盛机电股份有限公司(Zhejiang Jingsheng Mechanical & Electrical;股票代码:300316)2016年半年度报告显示,其报告期内从事的一些重要研发项目的进展及影响如下:

(1)公司承担的国家科技重大专项―极大规模集成电路制造装备及成套工艺2(以下简称02专项)―硅材料设备应用工程2项目中的―300mm硅单晶直拉生长设备的开发2课题,在2015年6月北京有研新材料股份有限公司,由国家02重大专项实施办公室和总体组组织召开的项目验收会上,以优秀的成绩通过了国家02专项验收专家组专家的正式验收。

(2)公司成功研制直拉区熔法(简称―CFZ法2)晶体新型专用单晶炉,为客户解决进口昂贵的多晶棒料问题,并在2015年4月通过了由中国电子材料协会半导体分会组织的专家鉴定。

(3)公司开发的新型―KY法全自动蓝宝石晶体生长炉‖取得了自动洗晶技术、自动引晶技术、自动控制、智能化的生产管理等关键技术突破,使公司生产的蓝宝石晶体生长炉不仅可以大幅提高长晶过程的自动化程度,减少人为因素引起的晶体品质差异,提高综合成品率,缩短长晶周期及降低能耗,并解决了规模化、大投料蓝宝石晶体装备的核心技术;公司在此基础上研发的新型120kg-150kg大投料蓝宝石晶体生长炉已经研发成功,并能批量生产出合格的晶体。

(4)公司新一代区熔硅单晶炉,改进了设计,加大了投料量,采用多个CCD技术,实现了远程操作并提高了自动化水平,其主要技术指标达到了国际先进水平,打破了国外垄断的格局,已经开始量产。

(5)公司成功研发一系列晶体加工设备,包括单晶硅棒切磨复合加工一体机,多晶硅块磨面倒角一体机、单晶硅棒单线截断机和多晶硅块单线截断机。以上设备可取代现有的传统带锯截断设备和分体磨削加工设备,这几种设备自动化程度高,加工工艺精良,降低客户生产成本,提高加工效率及产品质量,可满足现代车间的自动化、高效率、智能化、量产化的流水线生产的需求,具有较高的性价比和广阔的市场应用前景。

(6)公司成功研发出新一代气冷多晶铸锭炉,配套G7热场,可加大了投料量最多至1200kg,提高30%单炉产能,而且进一步优化气致冷却结构,改善冷却的均匀性,并提高保温性能,达到降低能耗和提高硅碇品质的效果,其主要技术指标达到了国际先进水平。同时改进热场的结构设计,创新性的解决大投料下氧化物堆积的行业难题,公司在铸锭炉上继续坚持不断的研发投入,使得多晶炉在行业内更具技术领先优势。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.jsjd.cc。    (完)
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