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晶盛机电2015年度研发投入达4838万元获授权发明专利27项
2016/8/31 19:51:35     

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【产通社,7月16日讯】浙江晶盛机电股份有限公司(Zhejiang Jingsheng Mechanical & Electrical;股票代码:300316)2015年年度报告显示,其报告期内公司继续加大研发投入力度,年度研发经费投入达4,838.44万元,占营业收入比例的8.18%。报告期内公司在研发方面取得了重要进展:

(1)2015年6月,公司承担的国家科技重大专项―极大规模集成电路制造装备及成套工艺‖(简称02专项)―硅材料设备应用工程‖项目中的―300mm硅单晶直拉生长设备的开发‖课题,在北京有研新材料股份有限公司,由国家02重大专项实施办公室和总体组组织召开的项目验收会上,以优秀的成绩通过了国家02专项验收专家组专家的正式验收。

(2)公司成功研制直拉区熔法(“CFZ法”)晶体新型专用单晶炉,为客户解决进口昂贵的多晶棒料问题,并在2015年4月22日通过了由中国电子材料协会半导体分会组织的专家鉴定。

(3)在报告期,公司开发的新型“KY法全自动蓝宝石晶体生长炉”取得了自动洗晶技术、自动引晶技术、自动控制、智能化的生产管理等关键技术突破,使公司生产的蓝宝石晶体生长炉不仅可以大幅提高长晶过程的自动化程度,减少人为因素引起的晶体品质差异,提高综合成品率,缩短长晶周期及降低能耗,并解决了规模化、大投料蓝宝石晶体装备的核心技术。

(4)公司新一区熔硅单晶炉,改进了设计,加大了投料量,采用多个CCD技术,实现了远程操作并提高了自动化水平,其主要技术指标达到了国际先进水平,打破了国外垄断的格局,今年已开始量产。

(5)公司成功研发了新一代金刚线切方的“单晶硅棒切磨复合加工一体机”自动化设备,与第一代相比,节约了硅料损耗,降低了生产成本,该设备已经得到用户的使用验证,并已实现批量销售。同时在上述基础上,新研制出多晶硅块切磨一体机、晶棒单线截断机和硅块单线截断机可取代现有的传统带锯切割和分体加工设备。晶棒单线截断机是采用金刚线切割的方式进行单晶硅棒截断加工的专用设备,可实现从上料、加工、下料等全过程的自动控制。而硅块单线截断机是采用金刚线切割技术进行多晶硅块切断加工的专用设备,可同时实现32块多晶硅块的全自动加工,上述两种设备该设备结构设计合理,加工工艺精良,可满足现代车间的自动化、高效率、智能化、量产化的流水线生产的需求,具有较高的性价比和广阔的市场应用前景。

截止2015年12月31日,公司及全资子公司获授权的发明专利27项,实用新型132项,外观专利12项。

查询进一步信息,请访问官方网站http://www.jsjd.cc。    (完)
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