【产通社，6月27日讯】Gigaphoton株式会社消息，其日前发布了绿色革新的新路线图。在这里，绿色革新是指一项降低客户环境负荷的活动。该项目始于2003年。该公司充分利用在该项目中取得的成果和经验，达到了进一步降低使用成本的目的。

Gigaphoton董事长、总经理兼CEO都丸仁先生说：“本公司将推进建立环保型绿色工厂的绿色革新作为最重要的课题之一，积极地进行相关的技术研发，得到了越来越多客户的高度评价。为了向客户提供有用的技术和产品，我们今后仍将一如既往地更加努力。”

为了应对近年来业界所担忧的氖气和氦气的供给量减少与涨价、以及全球范围内的电力使用量急剧增加的课题，Gigaphoton积极地采用独自开发的EcoPhoton计划，2013年开发了一种通过用氮气代替氦气的方法将氦气使用量减少99%的技术，2014年开发出了一种“eTGM”技术，通过该技术可以将氖气消耗量最多减少50%。另外，该公司2015年开发出的“eGRYCOS”技术可以将激光放电效率提高20%，借助于这项技术，在保持激光性能的同时，能够降低15%的耗电量。

在此次发布的新路线图中，以上技术得到了进一步的改进。针对氖气开发出了一种循环利用系统，利用该系统可以去除杂质，并使再生的氖气纯度达到与气缸供给的新鲜气体同等的水平。这样，可以使氖气的使用量接近于零。另外，该公司还针对氦气开发出了一种稳定性更高的技术，即使用氮气代替氦气也不会牺牲光学特性。在电力方面，在确立提高最新光刻工序所要求的激光的高功率的目标的同时，还计划在2020年之前开发出一种将耗电量减半的技术。

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.gigaphoton.com。    （完）