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OSAT先进半导体制造采用Z点阵Zeta-580光学轮廓仪
2015/7/1 0:45:35     

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【产通社,7月1日讯】泽塔仪器公司(Zeta Instruments)官网消息,其今天宣布,一家全球领先的台湾半导体外包封装测试企业(OSAT)决定采购第三台Zeta-580全自动测量系统,用来对其半导体先进封装的研发和生产进行监控,主要包括2.5D 互连技术(2.5D Interconnect)和Fan-Out晶圆级封装(FOWLP)。

泽塔仪器公司的首席技术官Jim Xu博士表示,“Zeta一直以来都与半导体先进封装行业的客户保持密切的合作,保证我们的产品能够满足这个行业不断发展的测量需求。Zeta的Z点阵技术和多模式光学系统的结合,使Zeta-580具有多种无以伦比的测量能力,包括:在不去除PR的情况下对铜的高度的测量;2微米RDL尺寸的自动测量;以及钝化层上bump的三维成像和测量。这种测量能力是目前任何其它光学测量系统所不具备的。”


应用特点


移动电子设备,如智能手机将继续推动半导体芯片的发展,使其更小、功能更强大,这些都需要先进封装技术,尤其是2.5D互连和FOWLP。Zeta-580光学轮廓仪能够满足所有测量需求,可以在一个系统平台上运行多个测量功能,代替其它的功能单一的多台测量设备,极大的降低在测量机台整体上的拥有成本。

基于Z点阵TM 3D光学成像与测量技术和多模式光学专利技术,Zeta-580光学轮廓仪提供了任何其它测量系统所不具备的测量能力。除了其优异的功能,Zeta-580还实现了对测量设备的整合,为先进封装工艺的研发和生产大幅降低了成本。


供货与报价


查询进一步信息,请访问官方网站http://www.zeta-inst.com.cn/zh/news

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