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上海微电子装备SLD500系列激光退火设备获上海专利新产品
2015/6/23 8:09:10     

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【产通社,6月23日讯】上海微电子装备有限公司(SMEE)官网消息,其最新推出的面向IGBT退火工艺的SLD500系列激光退火设备,经上海市经济和信息化委员会、上海市财政局、上海市知识产权局联合评定为“2014年度上海市专利新产品”。

SMEE一贯重视产品的技术创新以及创新方案的知识产权保护,尊重知识产权以及所有推动本领域产品技术进步的创造性成果,建立了产品开发过程的技术创新以及知识产权保护的制度程序与管理组织体系,涵盖了产品的预研、设计、制造、以及市场投放等全过程。

通过制定技术创新与知识产权战略,促进产品的性能提升,SMEE实现产品的技术领先以及知识产权的主动布局;通过有效的风险控制体系,保障产品技术与应用的知识产权合法性,增进客户对公司产品和服务的信任。

截至2014年3月,SMEE直接持有专利1400余项,间接持有专利6000余项,涉及光刻设备整机、光刻设备部件、光刻工艺、光刻材料、半导体器件等多技术领域,申请基本覆盖了SMEE产品的主要销售地域。查询进一步信息,请访问官方网站http://www.smee.com.cn

    (完)
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