【产通社，6月2日讯】德国爱思强股份有限公司（AIXTRON；法兰克福证券交易所：AIXA；纳斯达克：AIXG）官网消息，Nano Carbon（波兰）订购了爱思强的AIX G5 WW反应器，并将其用于制造碳化硅石墨烯。Nano Carbon拥有低成本外延石墨烯专利技术，可在AIXTRON爱思强系统上实现。

Nano Carbon成立于2011年，其基础是华沙电子材料技术研究所开发的技术。电子材料技术研究所的Wlodek Strupinski博士评论说：“Nano Carbon将利用爱思强系统继续开展碳化硅石墨烯研究，而且，我们还将运用AIX G5 WW完成这项技术的商业化，实现大规模生产”。

AIXTRON爱思强欧洲区副总裁Frank Schulte博士补充说：“我们很荣幸能提供该系统参与开发这项前景广阔的技术，并支持Nano Carbon扩展业务”。

应用特点

AIX G5 WW反应器于2015年第一季度下单，将于第四季度交付。系统配置将为每次运行处理十片100mm或六片150mm基板。

AIX G5 WW设备适用于碳化硅沉积外延石墨烯所需要的超高温环境，具备极高的晶圆生产能力。

Nano Carbon是欧盟石墨烯旗舰项目的准成员，该项目的生产工作由AIXTRON爱思强主导。Nano Carbon热切希望能向各研究团体和致力于开发创新型石墨烯器件的行业提供优质碳化硅石墨烯。

供货与报价

查询进一步信息，请访问官方网站http://www.aixtron.com/cn/press/。