【产通社，10月24日讯】苏州纳米科技发展有限公司（Nano Polis）官网消息，其日前在中国—新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会，将6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的首个产品正式交付客户。这也意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线正式运营，该中试线的投用将为我国中小MEMS企业的发展带来福音。

该6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米，是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品，产品样品测试结果良好，基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。查询进一步信息，请访问官方网站http://www.nanopolis.cn。