加入收藏
 免费注册
 用户登陆
首页 展示 供求 职场 技术 智造 职业 活动 视点 品牌 镨社区
今天是:2024年3月29日 星期五   您现在位于: 首页 →  产通直播 → 电子材料(产品通报)
CyberOptics推出可无线校准晶圆传送位置的WaferSense ATS
2007/1/15 19:20:04     CyberOptics

按此在新窗口浏览图片

CyberOptics Corporation旗下全资子公司CyberOptics Semiconductor公司1月9日宣布推出 WaferSense ATS(自动校准系统),这是对其无线操控类晶圆测量产品系列的一项引人注目的扩充。ATS 采用机器视觉来观测半导体设备的内部情况,并帮助避免代价高昂的晶圆误操作,晶圆误操作是高度自动化的半导体工厂中晶圆废弃的一个重要原因。

    操作和维护现代200毫米和300毫米半导体制程设备的代价很高,这是因为它通常需要漫长的停工期和昂贵的耗材。因此,设备和维护工程师正不断地寻求缩短停工期和更迅速地诊断和解决问题的机会。设备的可用性和性能可以通过更快、更精确地校准晶圆传送位置而得到提升。现今的机器人“校准”过程(即决定晶圆传送坐标并将它们载入机器人的控制器软件)要求技术人员手动操控机器人的动作并估计晶圆传送位置。这个过程不仅耗费人工,而且不准确,因为大多数校准位置的坐标是主观的目视结果。目前所应用的程序除了耗费人工且不准确之外,还要求在维护过程中使设备脱离生产线并被部分地拆除。

    出自CyberOptics Semiconductor的WaferSense ATS是一种创新型测量技术,为自动控制处理提供精确的晶圆传送坐标,并同时降低设备维护时间和晶圆废料。ATS可无线操控且类似晶圆,能像晶圆一样进行操作。一旦被置于半导体设备内,通过使用机器视觉技术,它能“看见”标记出晶圆传送位置的目标(如负载锁与制程舱),并将数字坐标传送给用户。由于无需拆除设备或将其冷却至维护工作温度以下,晶圆厂能够节省鉴定时间与耗材。ATS通过图形用户界面传输实况视频与实时坐标数据,从而使设备的检查与调整变得快速且容易。实况视频使工程师无需打开设备便能找到丢失或损坏的晶圆。

    WaferSense ATS可用于200毫米和300毫米的设备,并可精确到+0.1毫米(x轴与y轴)以及+0.5毫米(z轴)。有易于使用的软件进行数据记录,以便在后继的对比与分析工作中发现晶圆处理中的错误,同时帮助用户“训练”ATS识别新的目标类型。过硬的数据与可复验的坐标消除了技术人员之间在校准技术上的差别,消除了由于误操作造成的晶圆废料,从而最终提高了产量。

    CyberOptics Semiconductor总经理Craig Ramsey表示:“由于由于[V1]晶圆耗材的几何平面减小以及晶圆工厂自动化的增强,校准出精确且可复验的晶圆传送位置以获得最大限度的生产力和产量变得至关重要。WaferSense ATS为维护工程师提供了坐标数据,因而使自动传输坐标校准变得快速、准确且可复现。凭借我们的ATS,晶圆厂能够极大地减少停工时间和废料。”

    WaferSense ATS产品包括示例晶圆、洁净装料箱、USB连接线和应用软件(TeachView和TeachTarget)。WaferSense ATS属于WaferSense系列产品,该系列产品还包括Auto Leveling System (ALS)和Auto Leveling System for Reticles (ALSR)、精确的无线类晶圆设备,用于对半导体晶圆制程和自动化设备进行快速而精确的校平。WaferSense产品能降低设备总拥有成本,而且无需对晶圆制程设备进行调整。

    欲知详情,请访问网站http://www.CyberopticsSemi.com,或发电邮至CSsales@cyberoptics.com,或致电800-366-9131。

    (完)
→ 『关闭窗口』
 365pr_net
 [ → 我要发表 ]
上篇文章:没有找到相关文章
下篇文章:矽玛特数字相框及打印机参考平台持续获新应用
  → 评论内容 (点击查看)
您是否还没有 注册 或还没有 登陆 本站?!
 分类浏览
官网评测>| 官网  社区  APP 
STEAM>| 学术科研  产品艺术  技术规范  前沿学者 
半导体器件>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
电子元件>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
消费电子>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
商业设备>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
电机电气>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
电子材料>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
电子测量>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
电子制造>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
应用案例>| 家庭电子  移动电子  办公电子  通信网络  交通工具  工业电子  安全电子  医疗电子  智能电网  固态照明 
工业控制>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
通信电子>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
交通工具>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
基础工业>| 产品通报  企业动态  VIP追踪 
农业科技>| 产品通报  企业动态  专家追踪 
信息服务>| 企业动态 
光电子>| 企业动态 
关于我们 ┋ 免责声明 ┋ 产品与服务 ┋ 联系我们 ┋ About 365PR ┋ Join 365PR
Copyright @ 2005-2008 365pr.net Ltd. All Rights Reserved. 深圳市产通互联网有限公司 版权所有
E-mail:postmaster@365pr.net 不良信息举报 备案号:粤ICP备06070889号