【产通社,5月1日讯】Quantum Global Technologies LLC消息,其已经加入美国半导体制造技术战略联盟(SEMATECH),以推进工艺工具反应室零配件清洗事业和分析方法发展,帮助达到20nm以下晶圆制造工艺要求。Quantum Global是QuantumClean公司和ChemTrace这两家机构的母公司,前者为半导体、太阳能和LED行业提供经过验证的高纯度外包工艺工具零配件清洗、表面处理、翻新、分析和工程服务的全球领先提供商,后者则是业内公认的领先微污染分析测试实验室。
根据双方签署的合作协议的条款,美国半导体制造技术战略联盟和QuantumClean将在开发新的系统方法方面进行合作,而这些新的系统方法涉及工艺工具反应室零配件清洗和在现今能力范围之外探测粒子的分析方法。
QuantumClean创新和技术高级总监Ardeshir Sidhwa博士表示:“我们非常高兴能够与美国半导体制造技术战略联盟达成这份协议。我们一直在努力推动技术进步,并为我们居于前沿地位的晶圆代工厂和原始设备制造商(OEM)客户提供创新解决方案。在我们所处的行业向10nm以下节点迈进的同时,QuantumClean也将准备迎接表面制备和清洗方面的挑战,帮助在现今能力范围之外排除粒子与污染状况,并加以测量。”
Quantum Global Technologies首席运营官David Zuck说:“QuantumClean是第一家,也是目前唯一拥有加入美国半导体制造技术战略联盟的远见的外包半导体工艺工具零配件清洗公司。QuantumClean一直将相当大的一部分企业利润投入到零配件清洗和分析技术开发上面,帮助满足业内居于前沿地位的晶圆代工厂和原始制造商持续增加的要求。不过,在20nm以下设计节点制造方面,传统零配件清洗方法及相关计量技术已被证明效果不佳。然而通过与正在开发11nm和7nm设计节点解决方案的美国半导体制造技术战略联盟合作,这些挑战都能被克服,而 QuantumClean也将为客户利益着想,把相应技术诀窍结合进自身业务。”
美国半导体制造技术战略联盟高级技术总监Michael Lercel表示:“美国半导体制造技术战略联盟的目标是构建成功部署未来设备节点所需的基础架构。我们努力探索被用于先进半导体工艺的设备、设备元件和材料所产生的缺陷的生成、蔓延、排除及其产生的影响,这样的工作可以帮助这些供应链元素满足未来设备节点的复杂污染要求。我们与QuantumClean进行合作可以为美国半导体制造技术战略联盟带来精密零配件清洗方面的额外专长,这反过来又能提高我们的研究水平,帮助进一步强化美国半导体制造技术战略联盟在发现和迎接未来技术节点挑战方面的承诺。”
查询进一步信息,请访问官方网站http://www.sematech.org,以及http://www.quantumclean.com和http://www.chemtrace.com。
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