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TSMC台积电100台EUV光刻机确保先进制程领导地位
2024年11月16日    

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【产通社,11月16日讯】台积电在全球半导体产业中再创佳绩,其EUV曝光机的全球市占率已达56%,彰显了其在先进制程领域领导地位。其中,低数值孔径(NA)的EUV曝光机是目前最昂贵的半导体制造设备之一,每台造价超过1亿美元,而台积电对该设备的投资逐年增加,显示其对新技术的积极部署。

数据显示,台积电的EUV设备数量,自2019年起实现了十倍成长,从仅数台增至2023年的超过100台,这样的扩展使其在全球市场的占有率,从2020年的50%上升到如今的56%。台积电每年都投资数十亿美元于设备和技术研发,确保其能在不断变化的市场需求中保持竞争优势。

对于下一代高NA EUV技术,台积电采取审慎评估的策略,将根据高NA EUV的成熟度、成本和对客户的潜在效益,评估是否将其纳入大规模量产。该策略反映了台积电在技术创新上的谨慎态度,确保每一项技术革新都能带来实质收益。

自2019年推出全球首个商业化EUV制程N7+以来,台积电不仅积极扩大其EUV设备规模,也不断升级技术以满足市场对高效能芯片的需求,台积电目前的N7+、N5及N3制程均广泛运用了EUV技术,并正引领全球晶圆代工市场的先进制程需求。

业内分析师认为,台积电的持续投资不仅将强化其自身的竞争力,也将有助于其供应链的整合与扩展。随着全球半导体需求的增长,台积电的设备优势使其能迅速回应市场需求,并进一步稳固其全球晶圆代工领域的领先地位。

值得注意的是,除台积电外,三星也正在其7LPP、5纳米及3纳米制程中运用EUV技术,并积极引入动态随机存取存储器(DRAM)生产领域。(镨元素,产通数造)    
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